氣體檢測(cè)變送器作為一種探測(cè)和監(jiān)測(cè)有毒氣體的儀器，為在有害氣體現(xiàn)場(chǎng)工作的工作人員提供安保障。氣體檢測(cè)變送器是在微電子和微機(jī)械迅速發(fā)展的基礎(chǔ)上，基于MEMS的新型微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器，主要有硅基微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器和硅微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器。硅基微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器是襯底為硅，敏感層為非硅材料的微結(jié)構(gòu)氣敏傳感器。主要有金屬氧化物半導(dǎo)體、固體電解質(zhì)型、電容型、諧振器型。硅微結(jié)構(gòu)：主要是金屬氧化物－半導(dǎo)體－場(chǎng)效應(yīng)管（MOSFET）型和鈀金屬－絕緣體－半導(dǎo)體（MIS）二極管型。

氣體檢測(cè)變送器MEMS技術(shù)將傳感器與IC電路集成一起，而且精度高、體積小、質(zhì)量輕功耗低、選擇性高、穩(wěn)定型高，同種器件之間的互換型高，可以批量生產(chǎn)。所以是傳感器工藝的發(fā)展方向，而且基本所有的傳感器都可以用MEMS技術(shù)生產(chǎn)。隨著MEMS技術(shù)和納米技術(shù)的發(fā)展，將會(huì)給氣敏傳感器的發(fā)展提供更廣闊的的前景。同時(shí)實(shí)現(xiàn)傳感器陳列，也就是電子鼻集成成為可能，并將有很大的發(fā)展空間，給傳感器帶來(lái)新的發(fā)展篇章。

為了實(shí)現(xiàn)NDIR氣體傳感器的測(cè)量、控制以及自動(dòng)標(biāo)定等功能，需要一個(gè)合適的微控制器來(lái)管理傳感器。傳感器測(cè)控系統(tǒng)通過(guò)采集紅外輸出信號(hào)及測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)氣體曲線(xiàn)，采用非線(xiàn)性校正算法可以直接得到測(cè)量氣體的濃度。通過(guò)采用以上技術(shù)，NDIR紅外氣體傳感器的結(jié)構(gòu)比以往儀器將大大簡(jiǎn)化，儀器功耗也大幅度降低（只有以往的1/4），傳感器的成本也不到以往技術(shù)的1/4。此類(lèi)傳感器可以實(shí)現(xiàn)模塊化和標(biāo)準(zhǔn)化，因此更加適合在我國(guó)廣泛使用。